由韩国科学技术院 (KAIST) 材料科学与工程系 KeonJaeLee 和 Sang-HeeKoPark 教授领导的研究小组开发了一种用于柔性显示器的活性材料,无机激光剥离方法。
用于矩阵背板的超薄透明氧化物薄膜晶体管 (TFT)。
随着物联网(IoT)时代的到来,对可穿戴透明显示器的强劲需求不断增长,可应用于增强现实(AR)和类肤柔性薄型设备等各个领域。
然而,以前的柔性透明显示器需要克服一些真正的挑战,透明度差和电气性能差就是其中两个。
为了提高透明度和性能,过去的研究努力尝试使用无机电子器件,但塑料基板的基本热不稳定性限制了制造高性能电子器件所需的高温工艺的实施。
需要采取重要的一步。
该图显示了采用无机激光剥离工艺生产的超薄、柔性和透明氧化物薄膜晶体管。
为了解决这个问题,由韩国科学技术院 (KAIST) 材料科学与工程系 KeonJaeLee 和 Sang-HeeKoPark 教授领导的研究小组开发了用于柔性显示器有源矩阵背板的超薄透明氧化物,无机激光剥离方法。
薄膜晶体管(TFT)。
李教授的研究小组此前曾在能量收集设备(《AdvancedMaterials》,2020年2月12日)和柔性存储设备(《AdvancedMaterials》,2020年9月8日)上展示了无机激光剥离(ILLO)技术。
研究小组在激光活性牺牲基板上制造了高性能氧化物TFT阵列。
从基板背面照射激光后,由于激光和激光活性层之间的相互作用,只有氧化物 TFT 阵列从牺牲基板上分离,并随后转移到超薄(4 μm 厚)塑料上。
最后,这种用于柔性显示器的转移超薄氧化物驱动电路紧密地附着在人体皮肤表面,以展示可穿戴应用的可能性。
即使在多次严格的弯曲测试后,这种粘附的氧化物 TFT 仍表现出 83% 的高光学透明度和 40cm^2/(V*s) 的电子迁移率。
李教授表示:“通过使用我们的无机激光剥离工艺去除昂贵的聚酰亚胺基板,以较低的成本克服了高性能透明柔性显示器的技术障碍。
此外,这种高质量的氧化物半导体可以很容易地转移到皮肤等柔性基材或任何其他可穿戴应用材料上。